气体是电子工业的“血液”，尤其在半导体、光伏、光纤、显示器等行业中是关键性材料。例如，在集成电路制造中气体的占比仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业涉及的气体品种繁多，用途五花八门，...

质量流量计MFM、流量控制器MFC、以及电子压力控制器EPC是精度较高的流量仪表，在科研、医疗、食品、半导体及各行业工业领域有广泛应用。大多数工业应用的流量仪表产品是通过电流或电压模拟信号，或者数字通讯（Modbus、Devicenet，P...

质量流量控制器不仅能检测总流量，并且能在检测时自动控制总流量。客户能根据本身的所需设置总流量。一般来说，这种质量流量计仅用作流量测量或监测。该流量控制器采用毛细管传热温差热法原理检测气体质量流量（无气温和负担应对）。传感器受热桥测得的总流量...

本文所述的小口径、微小流量液体流量控制器是指流道管径小于2”，流量小于2500Kg/h的小流量；尤其是对管径更小，而流量小于1Kg/h，或者1000ml/h的更小流量的控制。对于液体流量计（只测流量，不控制流量），市场上的种类很多，但是可以...

质量流量控制器（MFC）在控制气体流量时，由于需要通过控制流量控制阀的开度实现流量控制，所以需要满足一定的压差条件（即其进气端压力要比出气端压力大一定的数值），需要控制的流量越大，需要流量控制阀的开度就越大，这个压差值就需要越大（即当其出口...

气体和液体是工业生产或科研实验常用的流体，在实际应用过程中经常需要用到流体的流量来代表流体量的多少，并且使用体积流量单位较多，尤其是气体，但是气体的体积受到温度和压力的影响会比较大。而实际应用时，工况变化是比较复杂的，同一段管路可能不同位置...